概要

石英ガラス表面に過熱蒸気を照射することで、表面に透明膜層が存在すると言われております。

特にCVDプロセスに効力を発揮いたします。 また「濡れ性（密着性）」効果もあり、機材表面の「接触角度」が低くなります。

※但し、機材の表面精度・過熱蒸気照射環境により若干変化があります。

用途の一例

CVDプロセスで使用されるガス（気体）が石英ガラス治具に付着した不純物が液状になった状態を一般的には、アルカリ系薬品を使用し、超音波洗浄含めて10時間を要しております。

しかしながら過熱蒸気を照射した石英ガラスでは、薬液を一切必要とせず、純水のみの超音波洗浄8時間で取り除くことが可能となります。